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气相沉积炉日常使用方法有哪些呢
发布时间:2023-02-16   浏览:1192次

  气相沉积炉日常使用方法有哪些呢

  气相沉积炉主要用于半导体元器件及电力整流装置的烧结工艺,可进行真空烧结、气体保护烧结及常规烧结,是半导体专用设备系列中新颖的技术装备,设计思路新颖,操作方便,结构紧凑,一台设备即可完成多个工艺流程。也可用于其他领域的真空热处理、真空钎焊等工艺,那么下面一起了解下炉子的使用必备技巧吧!

  气相沉积炉在抽真空后氢气保护的情况下,利用中频感应加热原理,使位于盘管内的钨坩埚达到高温,通过热辐射传导到工作中,适用于科研、军工部门对钨、钼及其合金粉末进行成型烧结。安装炉子的场地应符合真空卫生要求,周围空气清洁干燥,通风条件好,工作场所不易扬起灰尘等。它的日常使用方法:

气相沉积炉

  1、检查控制柜内所有零部件及部件是否完好、完好。

  2、控制柜安装固定在相应的基础上。

  3、查看接线图,参考电路图,连接外接主回路和控制回路,可靠接地,保证接线无误。

  4、检查电器活动部位活动自如,无卡死现象。

  5、绝缘电阻不应小于2万亿欧姆。

  6、气相沉积炉各阀门必须在关闭位置。

  7、控制电源开关置于断开位置。

  8、手动调压旋钮逆时针转动头。

  9、将报警按钮置于打开位置。

  10、平面图完成设备循环冷却水连接时,建议用户在气相沉积炉总进出水管处再加一层备用水(可用自来水),防止循环水故障或断电引起密封圈燃烧。

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