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真空速凝炉的应急措施
发布时间:2022-06-17   浏览:1245次

  真空速凝炉的应急措施

  真空速凝炉主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺,可进行真空烧结,气体保护烧结及常规烧结,是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺装备,它设计构思新颖,操作方便,结构紧凑,在一台设备上可完成多个工艺流程。亦可用于其他领域内的真空热处理,真空钎焊等工艺。下面,小编就为您介绍压缩空气的停止、停电、加热电源掉电的应急措施。

真空速凝炉

  一、压缩空气的停止

  1、压缩空气异常报警时,真空速凝炉处于停止状态,应尽快到备用的压缩机房,让其恢复工作。

  2、真空中如压缩空气异常报警,且恢复需要较长时间时,则终止真空,让设备停下来。

  二、停电

  1、停电时,如果断水,应立即接通备用的冷却水,接通水源。

  2、如果在非升温、加热和冷却时,能够尽快恢复时,重新启动真空速凝炉,继续运转如需要较长时间,则将设备保持原状。

  3、如果正在加热和冷却时,能够尽快恢复时,重新启动设备,如果需要较长时间时,则保持原状,让设备自然冷却下来。

  三、加热电源掉电

  1、水压低,当水压低于0.15MPa,真空速凝炉的压力表会报警。

  2、接地故障。

  3、真空放电,水冷电极接头与加热器连接处必须连接牢固,与反射屏绝缘要好。

  4、若真空速凝炉炉内压力为13.3-66.5Pa时(此真空度容易发生放电)。电源出现故障,掉电的原因可以认为由于电介质击穿而引起的放电。

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