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气相沉积炉计算机控制系统使用说明
发布时间:2016-11-11   浏览:1553次

  气相沉积炉计算机控制系统要如何使用呢?今天,华体会官网就来跟大家简单的说一说使用方法及注意事项。

  首先,气相沉积炉主体内有加热室,水冷电极,测温热电偶,这些都是处理工件的核心的部分。而为混气罐,由1只电动蝶阀、2只浮子流量计和4只不锈钢手动截止阀这三部分七小块组成,负责氩气和丙烷的混气配比,以及向沉积炉内定量输送工作气体。

  其次,沉积炉还具有2台滑阀泵,注意是负责气相沉积炉内的空气及工作废气的排除等,这使得炉子可以工作在恒定的压力范围之内。2台过滤罐,主要是负责滑阀泵前级的粉尘排除。

  另外,气相沉积炉计算机控制系统还有3台加热磁性调压器,他们独立工作,完成炉温的控制。


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